1.クイックレスポンス
・素材特性により昇温スピードが速い。
・温度降下後の復帰が速い。
2.高い効率のIR(遠赤外線)特性が得られる
・IR放射面の特殊加工によりIR放射効率95%以上を実現。
・IRの特徴である、ふく射による間接加熱が可能。
3.設計の自由度が高い
・平面タイプはもちろんパイプ状のヒーターの作製が可能。
・0.4ミリの薄膜タイプのヒーターの作製が可能。
・アーチ形ヒーターの作製が可能
・小面積の高出力タイプやセラミックヒーターでは難しい大面積タイプのヒーターの作製が可能。 例:1200×1000mm
・発熱体の自由な配置ができることで、発熱面の温度分布の調整が容易。
・ヒーターのベースにステンレスを使用しているので、溶接によるアッセンブリーが可能。
4.クリーンルームでの使用が可能
・特殊ガラスでコーティングすることで、クラス100のクリーンルームでの使用可能。
↑被加熱物(例:定着ローラー)との密着性UP |
5.真空中での使用が可能
・真空下での使用においてもチャンバー内の環境を汚染しない.
・真空中においても良好なIR特性が得られる。